纳米压痕法对304不锈钢残余应力的研究

利用纳米压痕法研究了304不锈钢的残余应力,采用Suresh理论模型恒定载荷时的公式计算残余应力,最大加载载荷依次为500μN、1 000μN、1 500μN、2 000μN、2500μN。结果表明,不锈钢硬度和弹性模量为定值,退火前后的硬度分别为5.3GPa和4.0 GPa,弹性模量分别为110 GPa和100 GPa。利用Ansys分析软件模拟了压痕过程,发现不锈钢在受压过程中有Sink-in现象发生。纳米压痕法测得了未退火不锈钢存在残余压应力,大小为381 MPa;用XRD测得了未退火不锈钢中有350 MPa±23 MPa的残余压应力,两种测量结果吻合良好,说明了纳米压痕法在残余应力测试时的准确性与可靠性。     

振动环境试验设备与技术的现状及进展

综述了国内外振动环境试验设备及技术的现状,简要分析了我国振动试验水平与国外产生较大差距的原因,指出了振动环境试验存在的问题,说明了振动环境试验设备及技术发展方向。     

扫描探针显微镜的研究

介绍了扫描探针显微镜的起源及其发展过程，同时对扫描探针显微镜中最常用的两种：STM、AFM作了原理和结构介绍，最后介绍了SPM探针的形状及其性能数据。     

偏压对ECR-微波等离子增强沉积ZrN薄膜的结构及性能的影响

利用ECR-微波等离子溅射沉积技术加不同偏压在45#钢基体上制备了ZrN薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)对薄膜的微观组织结构进行了分析。结果表明,无偏压时薄膜为非晶膜,随着偏压的升高,薄膜呈ZrN晶体结构。利用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)测试了薄膜表面形貌。薄膜表面平整,但仍存在局部缺陷;粗糙度(RMS)在0.311—0．811nm之间变化,轮廓算术平均值(Ra)在0．239-0．629nm之间变化。同时利用电化学极化实验在0．5mol／LNaCl溶液中测试了基体及薄膜的耐蚀性能,基体自腐蚀电位Ecorr为-512．3mV,样品Ecprr在-400．3--482．6mV之间变化,45#钢基体自腐蚀电流Icorr为9．036μA,样品Icorr。在0．142—0．694μA之间变化。并讨论了偏压对薄膜的微观组织和耐蚀性能产生影响的原因。     

基于ACIS平台开发MEMS CAD的技术研究

CAD／CAM平台的系统开发是一种重要的开发方式，介绍了系统开发平台ACIS。阐述了平台的主要功能、开发接口和数据结构，并分析其各自特色。并以MUMPS表面微加工工艺为例，研究将几何模型自动转化为工艺特征模型，该方法可以跟传统机械CAD紧密结合，并实现了工艺层模型的自动构造。     

电容式传感器性能参数的虚拟标定方法

图形化软件(LabView)是虚拟现实技术在自动化、测试仪器仪表行业中的应用,是对传统仪器概念的重大突破。电容式测微仪将位移的微变转换为电压的微变,通过A/D采集板(ZTIC8310)将电压的微变传入计算机,然后利用LabView软件中的虚拟仪器模块对逐次采集的信号进行计算,按照不同的评价原理自动得到性能参数,如:线性度,分辨力等。通过虚拟仪器进行的参数标定是评价真实仪器性能指标的有力证明。论述了虚拟仪器LabView对真实仪器的标定原理及方法。     

MEMS集成设计中数据交换的研究

MEMS集成设计是目前发展的趋势,由于在MEMS设计中使用不同的CAD软件所产生的数据格式不兼容,使得MEMS设计过程复杂、周期长,且大大影响了设计的优化结果。因此,这里提出建立以STEP为标准的数据库自动进行数据格式交换的方法。     

基于MUMPS的MEMS集成设计方法研究

基于MUMPS（Multi—User MEMS Processes：多用户三层多晶硅表面微加工工艺流程）表面微加工工艺。根据其工艺特征。建立工艺层库。利用Pro／PROGRAM。编写自动装配工艺层模型程序。通过自主开发的软件。将工艺层模型直接导入到MEMS版图器中。从而实现三维模型到二维版图的自动转换。